文/石明山

    本报讯 由长春光华微电子设备工程中心有限公司承担的吉林省科技型中小企业技术创新基金“多功能薄膜电阻精修机”项目，日前通过了吉林省科技厅组织专家进行的评审验收。这种新型产品填补了国内空白，接近国际先进水平。

    据了解，随着信息产业的飞速发展，片式元器件由于其体积小、制造成本低等优势正在逐渐被电子仪器大量使用，其中片式电阻是推动整个电子元件片式化浪潮的先导产品之一。薄膜电阻的精度要求十分严格，因此生产中必须对薄膜电阻进行修正加工。目前，激光工艺法对其修正加工已被认为是一种行之有效的好方法。其加工设备是激光调阻机，它是一种集光学、精密机械、电子学、计算机控制、精密测量等多种学科于一体的加工设备，也是片式电阻生产线中的关键设备。

    中国科学院长春光机所最早在国内研制成功了激光调阻机。根据电子工业产业市场的发展和需求，该所与广东风华高科技股份有限公司联手成立了长春光华电子工程中心有限公司，共同开展“多功能薄膜电阻精修机”的科技攻关，并于2003年6月被列入吉林省科技型中小企业技术创新基金项目。他们充分发挥自身在精密、超精密仪器设备及其相关单元技术、高频高精度激光微细加工设备及相关单元技术领域较雄厚的理论基础和实际开发能力，结合生产实际需求，先后完成了LTR420型、LTR420A型、LTR420B型等新产品的开发，并且在多功能薄膜电阻精修机的高速、高精度有源数字电桥实时在线测量及光束定向控制技术，微米级高速机械定位控制技术，激光脉宽、频率的可调控技术，多单元高速同步控制技术等方面具有创新性。

    另据介绍，这种多功能薄膜电阻精修机实现了片式薄膜电阻激光加工过程的自动化，可适用于0805型、0806型、0402型片阻以及排阻、网络电阻等。同时具有精密度高、工艺简便和高效等特点。目前，长春光华公司已经过中试阶段，具备了小批量的生产能力。它不仅能为企业发展创造出较高的经济效益和社会效益，而且其国产化对我国微电子产业装备制造业的发展与技术进步具有重要意义。